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大规模集成电路净化车间如何设计?

发布时间:2021-01-23  

  超大规模集成电路净化车间如何设计?河南净化工程公司这样设计净化方案!近年来在超大规模集成电路生产用要求严格的洁净室建造中,洁净室的净化空调系统采用集中新风处理和循环空气系统以及微环境装置,洁净室一般采用“三层”结构,洁净生产区在中层,在洁净生产区的下部为下技术夹层(高度约5.0m左右),主要作为回风静压箱,并安装大部分水、气、电管线和部分公用动力设备;在洁净生产区的上部为上技术夹层,主要作为送风静压箱、送风过滤机组以及循环空气处理装置等。

  这类洁净室通常均采用装配化结构,洁净室的顶棚采用由金属骨架(铝合金或不锈钢)、空气过滤器、盲板以及与屋顶钢架或混凝土屋架附加的钢结构组成,顶棚结构覆盖了整个洁净生产区,是挂在钢结构上可以根据要求调整水平等;顶棚尺寸按所采用的空气过滤器或过滤机组、盲板尺寸确定,而过滤器、盲板则按工艺要求的洁净室的分隔进行布置;若工艺要求分隔进行调整、变更时,过滤器、盲板可以方便地随之变化。

  根据工艺要求的洁净室的洁净度等级,可调整过滤器、盲板的布置以及随之按要求实现不同的室内气流流型。

  通常有两种过滤器顶棚形式,即“干式”和“液槽式”。干式中的过滤器与盲板或顶棚格栅的密封靠弹性密封垫,采用压紧装置压紧进行密封;液槽式是在专用的液槽内充人非牛顿液密封胶进行密封,过滤器的特殊刀口插人液槽形成液封,进行密封。

  洁净室的分隔板(墙)将洁净厂房中的工艺核心区与服务区分开,洁净室的分隔系统是由框架结构、单层或双层玻璃墙和门单元组成;框架一般为铝合金制作,典型的墙板涂有导电漆的钢板,玻璃墙板是由导电的叠层透明玻璃、型材及其密封装置所构成;有玻璃窗的门的四周及与地面侧均设密封条;金属板表面必须光滑、可清洁、耐冲击,且不掉尘。



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